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高純石墨在半導體材料中的應用

發布時間：2019.12.24 新聞來源：石墨粉價格_超細石墨粉_膠體石墨_華泰石墨粉 瀏覽次數：

    單晶硅、高純鍺和集成電路等半導體器件生產的時候，為了防止金屬雜質污染半導體金屬，在生產中廣泛采用高純石墨做石墨舟、石墨發熱元件，以及大小不同的石墨燒結模等。半導體生產已成為如今高純石墨的大用戶。
    半導體材料生產用高純石墨的生產工藝有擠壓、冷壓和等靜壓三種方法，可以根據實際情況使用。
    一，擠壓成型的高純石墨粒度比常規石墨電極的粒度要細，但是比細結構石墨要粗，可以用來生產比較大的石墨件，比如加熱元件、石墨坩堝等。
    二，細結構高純石墨是細結構石墨在石墨化時進行化學純化制得，對于加工精度要求高的石墨件，如集成電路燒結模，用細結構高純石墨加工棱、角、溝、槽都可以加工出來。
    三，等靜壓高純石墨是用等靜壓工藝成型，質量均勻，是三種高純石墨中較好的，價格也是很貴的。
    高純石墨在半導體材料中的應用是青島華泰石墨原創，未經允許，不得轉載，轉載須注明出處。